MEMS에 대한 전기 엔지니어링 용어 정의

정의

Micro Electronic Mechanical Systems의 축약어. 기계적인 부품과 전기적인 부품을 합성하는 시스템, 반도체 제조 기술로 만들어짐. 일반적인 예로는 센서와 증폭 및 컨디셔닝 회로를 합성하는 압력과 가속도 센서를 들 수 있다. 다른 애플리케이션으로는 스위치, 밸브, 웨이브가이드 등이 있다.

동의어

• Microelectromechanical systems

핵심 단어

Microelectromechanical, mems, micro

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